中 국영기업, 반도체 DUV 노광장비 제조 착수했다

지금까지 네덜란드 ASML이 시장 대부분을 독점해 온 액침형 심자외선(DUV) 노광장비를 중국 국영기업이 제조할 전망이라는 보도가 나왔다. 이 보도로 ASML 주가가 7% 하락했다.

사정에 정통한 관계자에 따르면 상하이에 거점을 둔 한 기업이 DUV 노광장비를 제조해 SMIC와 CXMT 등 중국 내 반도체 제조사에 공급할 예정. 이 계획은 아직 초기 단계에 있으며 중국 제조사는 사용 개시 전 장비 정밀도, 신뢰성, 호환성을 검증하는 데 수개월 이상 걸릴 것으로 전해졌다. 당초 계획에 따르면 2026년 중 5대, 2027년에는 20대를 생산할 예정이다. 관계자는 기밀성이 높다며 제조 기업 명칭을 밝히지 않았다.

이 보도에 따라 ASML 주가는 7% 하락했다. JP모건은 투자자에게 제한된 수로 DUV 노광장비를 생산하는 게 대량 생산에 대응할 수 있는 장비를 납품하는 것과 동의어는 아니라고 강조했다. 보도된 생산 대수는 ASML이 2025년 생산한 131대에 훨씬 못 미친다고 덧붙였다.

이 보도는 전 세계 반도체 제조장비 공급망 관련 기업 주가에도 영향을 미쳤다. 베시(BESI)는 8.5% 하락, 소이텍(Soitec)은 5% 하락, 인피니언 테크놀로지스(Infineon Technologies)는 3% 하락했다.

한편 최첨단 제조 공정에 필요한 극자외선(EUV) 리소그래피라 불리는 장비는 여전히 ASML이 독점하고 있으며 중국은 수출 규제로 인해 이 장비를 입수할 수 없는 상태에 있다. 다만 중국이 ASML 출신 엔지니어링팀 협력을 얻어 EUV 리소그래피 장비 시작기를 제작했다는 보도도 전해진 바 있다. 관련 내용은 이곳에서 확인할 수 있다.