인텔, 수출 규제 대상 기업 반도체 장비 테스트중?

반도체 대기업인 인텔이 미국의 수출 규제 대상이 된 툴 메이커 반도체 제조 장비를 테스트하고 있다는 보도가 나왔다.

반도체 제조 장비 메이커인 ACM리서치(ACM Research)는 미국 캘리포니아주 프리몬트에 본사를 둔 기업이지만 사업 대부분을 중국에서 전개하고 있다. ACM리서치 주요 고객은 국내 반도체 벤더인 SK하이닉스로 웨이퍼 세정 장비 등을 공급하고 있다.

ACM리서치는 중국 정부와의 연결도 강하며 중국 정부에 의한 상용 반도체 기술의 군사 이용이나 고도 반도체 및 반도체 제조 장비 제조에 관여했다는 이유로 2024년 12월에는 미국 정부로부터 ACM리서치의 상하이 사업부 및 한국 사업부가 수출 규제 대상으로 지정됐다. 한편 ACM리서치는 중국 정부와의 협력은 없다고 주장하고 있다.

이런 ACM리서치 상하이 사업부와 한국 사업부로부터 인텔이 반도체 제조 장비를 입수했다는 보도가 나왔다. 이 반도체 제조 장비는 반도체 재료인 실리콘 웨이퍼에서 불필요한 부분을 제거하기 위해 사용되는 습식 에칭 툴로 인텔 최첨단 칩 제조 프로세스인 14A로의 적용 가능성이 검증된 것으로 예측된다. 참고로 인텔 14A로 제조되는 첫 반도체는 2027년 등장할 예정이다.

보도에선 인텔이 ACM리서치 습식 에칭 툴을 14A에 추가하는 결정을 내렸는지 여부는 확인할 수 없었으며 인텔이 미국 규제를 위반했다는 증거도 확인할 수 없었다고 한다. 인텔은 보도에 대해 자사 반도체 제조 프로세스에서 ACM리서치 습식 에칭 툴은 사용되고 있지 않으며 적용되는 모든 미국 법률 및 규제를 준수하고 있다는 성명을 발표했다.

ACM리서치는 구체적인 고객과의 거래 내용에 대해서는 코멘트할 수 없다고 하면서도 ACM리서치 미국팀이 아시아에서 개발된 복수 툴을 미국 고객에게 판매한 것에 대해서는 인정했다. 또 ACM리서치는 미국의 대형 반도체 메이커에 반도체 제조 장비 3개를 출하한 걸 공표했으며 이들은 현재 테스트 중인 단계에 있고 일부는 이미 성능 기준을 충족하고 있다는 게 확인됐다고 밝혔다.

이 보도에 대해 대중 강경파로부터는 주식 일부를 미국 정부가 취득하고 있는 인텔이 수출 규제 대상이 되는 부문을 가진 기업이 제조한 툴을 자사 최첨단 제조 라인에 도입하는 걸 검토하고 있다는 사실은 국가 안보상 중대한 우려를 제기한다는 지적이 나오고 있다.

한편 중국 정부가 희토류 광물의 수출 규제를 확대한 걸 받아 도널드 트럼프 대통령은 중국으로의 반도체 수출에 관한 강경 정책 대부분을 철회하고 엔비디아가 중국에서 최첨단 AI 칩을 판매할 수 있도록 규제를 완화했다.

하지만 중국의 반도체 제조 장비 메이커가 세계 시장에 진출하고 있는 현상에 미국 의원 사이에서는 우려가 높아지고 있다. 12월에는 미국 정부로부터 수천억 규모 보조금을 받고 있는 반도체 메이커는 중국제 반도체 제조 장비 사용을 금지한다는 법안이 제출됐다. 조 바이든 대통령 정권 하에서 국가안보회의 직원을 역임한 크리스 맥과이어는 보도에 대해 인텔의 ACM리서치 습식 에칭 툴 채용은 미국 기술 보호 정책의 중대한 결함을 드러낸 것이며 용납되어서는 안 된다고 말했다. 관련 내용은 이곳에서 확인할 수 있다.